Каталог книг библиотеки ИФ СО РАН

w10=
Найдено документов в текущей БД: 1
   З84
   В 15

    Физика субмикронной литографии
/ К.А.Валиев. - М. : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 1520 экз. - ISBN 5-02-014381-2 : 7. 50 р.
ГРНТИ
ББК З844.1-060.1


Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Экземпляры всего: 2
КФ (2)
Свободны: КФ (2)