Содержание:
Шепов, Владимир Николаевич. / В. Н. Шепов
ГРНТИ |
Рубрики:
Полупроводниковые материалы--Кремний--Сборники
Кремний--Тонкие слои--Свойства--Структура--Сборники
Полупроводниковые материалы--Кремний--Сборники
Кремний--Тонкие слои--Свойства--Структура--Сборники
Аннотация: Ежегодный форум, проводимый в России и странах СНГ с 1999 г. Учёные, представляющие академическое сообщество, вузы и промышленность, обсуждают широкий спектр проблем кремния и родственных ему материалов.
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Красильник, З. Ф. \ред.\; Павлов, Д. А. \ред.\; Российская академия наук; Институт физики микроструктур РАНИнститут химии высокочистых веществ РАН; Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН; Научный совет по физико-химическим основам материаловедения полупроводников РАН; Научный совет по физике полупроводников РАН; Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского; Московский институт стали и сплавов; Кремний-2010. Международная конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (7 ; 2010 ; 6-9 июля ; Нижний Новгород)
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)