ГРНТИ |
Рубрики:
Наноэлектроника--Физические основы--Учебники и учебные пособия
Микроэлектроника--Физические основы--Учебники и учебные пособия
Тонкие пленки--Получение--Учебники и учебные пособия
Наноэлектроника--Физические основы--Учебники и учебные пособия
Микроэлектроника--Физические основы--Учебники и учебные пособия
Тонкие пленки--Получение--Учебники и учебные пособия
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Жабрев, Валентин Александрович; Тупик, Виктор Анатольевич
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет