ГРНТИ |
Рубрики:
Тонкие пленки--Технология--Справочники
Микроэлектроника--Пленки тонкие--Технология--Справочники
Тонкие пленки--Технология--Справочники
Микроэлектроника--Пленки тонкие--Технология--Справочники
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Майссел, Л. \ред.\; Глэнг, Р. \ред.\; Елинсон, Мордух Ильич \ред. пер.\; Смолко, Г.Г. \ред. пер.\
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)