Каталог книг библиотеки ИФ СО РАН

: Учеб. пособие в 2-х ч. Ч. 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2007. - 397 с. - Библиогр. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 197.93 р.

ГРНТИ

47.01.33

47.13.11

47.01.77

ББК З852я73 + З844.1я73


Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Крупкина, Татьяна Юрьевна; Ревелева, Марина Алексеевна; Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет

: учебное пособие. Ч.2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования / М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина [и др.] ; ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2009. - 422 с. - Библиогр.: с. 410-422. - 1000 экз. - ISBN 978-5-94774-583-2 (в пер.). - ISBN 978-5-94774-583-6 : 328.50 р.

ГРНТИ

29.33.39

ББК З844.15я73


Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Королёв, Михаил Александрович; Королев, Михаил Александрович; Крупкина, Татьяна Юрьевна; Путря, Михаил Георгиевич; Шевяков, Василий Иванович; Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободны: КФ (1)