Центральная научная библиотека ФИЦ КНЦ СО РАН
Ресурсы и услуги
Электронный каталог и базы данных
Электронные ресурсы удаленного доступа
Межбиблиотечный абонемент и электронная доставка документов
Виртуальная справка
Оценка публикационной активности
О библиотеке
Структура
Режим работы
Правила пользования
Контакты
Аспирантура
Учебная литература
Главная
/
Электронный каталог
Каталог книг библиотеки ИФ СО РАН
w10=
Найдено документов в текущей БД: 1
1.
З84
С 28
Тонкопленочные элементы в микроэлектронике: основы проектирования и изготовления
Седаков
,
Андрей
Юлиевич
.
/ А. Ю.
Седаков
, В. К. Смолин ; ред. А. Ю.
Седаков
. - М. : Радиотехника, 2011. - 168 с. - Библиогр.: 117 назв. - 400 экз. -
ISBN
978-5-88070-292-3 : 250.00 р.
ГРНТИ
47.09
47.14.07
ББК
З843-2 + З844.3-2
Рубрики:
Электроника--Материалы--Тонкие пленки--Технология
Держатели документа:
Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Смолин, Валентин Константинович;
Седаков
,
Андрей
Юлиевич
\ред.\
Экземпляры всего:
1
КФ (1)
Свободны:
КФ (1)
Найти похожие
полный формат
краткий формат
все найденные
отмеченные
кроме отмеченных
Печать