: Учеб. пособие в 2-х ч. Ч. 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2007. - 397 с. - Библиогр. -
ISBN 978-5-94774-336-4 : 197.93 р.
ББК З852я73 + З844.1я73
Держатели документа: Библиотека Института физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа: Крупкина, Татьяна Юрьевна; Ревелева, Марина Алексеевна; Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
КФ (1)
Свободных экз. нет