Перевод заглавия: The study of influence the technological conditions of vacuum deposition of thin magnetic films on major properties of produced samples
Кл.слова (ненормированные):
вакуумное напыление -- анизотропия -- намагниченность насыщения -- тонкие магнитные пленки -- vacuum deposition -- magnetic anisotropy -- saturation magnetization -- thin magnetic films
Аннотация: С помощью сканирующего спектрометра ферромагнитного резонанса проведены исследования влияния технологических условий вакуумного напыления тонких магнитных пленок на основные характеристики получаемых образцов. Показана сильная корреляция между распределением осей легкого намагничивания пленок и неоднородностью распределения внешнего магнитного поля, приложенного во время напыления. Установлено, что небольшое отклонение угла падения атомов от нормали в процессе изготовления образцов также оказывает сильное влияние на магнитные характеристики тонких пленок.
Using the scanning spectrometer of ferromagnetic resonance the study of influence the technological conditions of vacuum deposition of thin magnetic films on major properties of produced samples were performed. The strong correlation between easy directions of magnetic films and non-uniformity in distribution of external magnetic field, applied during the deposition, were shown. It was found that the small deviation of incidence angle of atoms from the normal during the producing of specimens also strong effected on magnetic parameters of thin films.
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Изотов, Андрей Викторович; Izotov, A.V.; Соловьев, Платон Николаевич; Belyaev B. A.