Кл.слова (ненормированные):
пористые структуры на кремнии -- режимы электрохимического анодирования -- сегнетоэлектрик -- экстракционно-пиролитический метод -- гетероструктуры на пористом кремнии с титанатом бария и титанатом стронция
Аннотация: В высокочастотных приложениях в текущем десятилетии нынешнего века получили развитие конденсаторы с использованием кремниевых материалов и технологий. С целью уменьшения диэлектрических потерь кремниевых конденсаторов в области ВЧ- и СВЧ-диапазонов рассмотрена возможность создания конденсаторных структур на основе пористого кремния с внедренными в поры оксидными сегнетоэлектриками — титанатами бария и стронция, которые имеют размытый фазовый переход. Проведены исследования по созданию сегнетоэлектрических структур на основе матрицы пористого кремния с внедрением титаната бария и титаната стронция с помощью метода электрохимического анодирования и экстракционно-пиролитического метода. Проведены экспериментальные исследования диэлектрических потерь конденсаторных структур на основе матрицы пористого кремния с внедренным сегнетоэлектриком, которые показали возможность применения полученных конденсаторных структур в ВЧ- и СВЧ-диапазонах.
Смотреть статью,
РИНЦ
Держатели документа:
Сибирский федеральный университет, Красноярск, 660041, Россия
Балтийский технический университет «ВОЕНМЕХ» им. Д. Ф. Устинова, Санкт-Петербург, 190005, Россия
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН, Москва, 119991, Россия
Доп.точки доступа:
Семенова, О. В.; Патрушева, Т. Н.; Юзова, В. А.; Лемберг, Константин Вячеславович; Lemberg, K. V.; Раилко, М. Ю.; Подорожняк, С. А.; Холькин, А. И.