Кл.слова (ненормированные):
атомно-слоевое осаждение -- тонкие пленки -- легированный алюминием оксид цинка -- структурные и оптические свойства -- термоэлектрические свойства
Аннотация: Тонкие пленки оксида цинка легированного алюминием были выращены с помощью атомно-слоевого осаждения при температуре 200°С. С помощью рентгеновской дифракции было обнаружено, что тонкие ZnO:Al пленки имеют пики от плоскостей (100), (002), (110) и (201) гексагональной фазы ZnO. Плоскости (101) и (102) были обнаружены также с помощью электронной дифракции. Тонкие ZnO:Al пленки растут гладкими со среднеквадратичной шероховатостью Rq равной 0.33 nm и характерными размерами нанокристаллита ~70 и ~15 nm без дополнительных фаз связанных с алюминием или оксидами алюминия. Пропускание на длине волны 550 nm с учетом подложки составляло ~96%. Были найдены коэффициенты преломления и поглощения тонких ZnO:Al пленок в диапазоне длин волн 250-900 nm. Максимальные значения для коэффициентов преломления и поглощения были 2.09 на длине волны 335 nm и 0.39 на длине волны 295 nm соответственно. Оптическая ширина запрещeнной зоны составляла 3.56 eV. Удельное сопротивление, коэффициент Зеебека и фактор мощности тонких ZnO:Al пленок составляли ~1.02·10-3 Ohm·cm, ~-60μV/K и 340 μW·m-1·K-2 при комнатной температуре соответственно. Максимальный фактор мощности достигал 620 μW·m-1·K-2 при температуре 200°C.
Смотреть статью,
РИНЦ,
Для получение полного текста обратитесь в библиотеку
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Красноярский научный центр, ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск, Россия
Институт химии и химической технологии СО РАН, ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск, Россия
Сибирский государственный университет науки и технологий им. М.Ф. Решетнева, Красноярск, Россия
Сибирский федеральный университет, Красноярск, Россия
Доп.точки доступа:
Тамбасов, Игорь Анатольевич; Tambasov, I. A.; Волочаев, Михаил Николаевич; Volochaev, M. N.; Воронин, А. С.; Евсевская, Н. П.; Evsevskaya N. P.; Масюгин, Альберт Николаевич; Александровский, Александр Сергеевич; Aleksandrovskii, A. S.; Смолярова, T. E.; Немцев, Иван Васильевич; Nemtsev, I. V.; Лященко, Сергей Александрович; Lyashchenko, S. A.; Бондаренко, Г. Н.; Тамбасова, Е. В.