Сводный каталог книг

[Текст] : В 2-х ч. Ч.2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования / М. А. Королев [и др.] ; Под ред. Ю. А. Чаплыгина. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2012. - 422 с. : ил., рис., табл., фот. - ISBN 978-5-94774-585-6 : 328.90 р.

ГРНТИ

47.13

ББК З852

Аннотация: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.


Доп.точки доступа:
Королев, Михаил Александрович; Крупкина, Татьяна Юрьевна; Путря, Михаил Георгиевич; Шевяков, Василий Иванович; Чаплыгин, Ю.А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-АБ (1)