Содержание:
Технология изготовления пористого кремния
Фотолюминесценция пористого кремния
Электрофизические свойства пористого кремния
Светоизлучающие диоды на основе пористого кремния
Фотоэлектрические преобразователи для солнечной энергетики
Приборы СВЧ-диапазона
Химические датчики на основе пористого кремния
ГРНТИ | |||||
УДК |
Рубрики:
Полупроводники--Свойства--Получение--Применение
Кремний--Свойства--Получение--Применение
Электроника--Материалы--Кремний
Кл.слова (ненормированные):
Кремний пористый
Полупроводники--Свойства--Получение--Применение
Кремний--Свойства--Получение--Применение
Электроника--Материалы--Кремний
Кл.слова (ненормированные):
Кремний пористый
Аннотация: Рассматриваются вопросы технологии изготовления пористого кремния, его структурные свойства, люминесцентные и электрофизические характеристики, особенности применения при изготовлении полупроводниковых приборов, процессы пассивации слоев материала с целью стабилизации их характеристик.
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Министерство образования и науки Российской Федерации; Рязанский государственный университет им. С.А. Есенина
Экземпляры всего: 2
ИФ-КФ (1), ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1), ИХХТ-АБ (1)