Сводный каталог книг

[Текст] : монография / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов; Под редакцией С. П. Тимошенкова. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - (Нанотехнологии : [Серия основана в 2006 г.]). - Библиогр.: с. 275-280. - 770 экз. - ISBN 978-5-9963-0032-7 (в пер.) : 400.00 р.

ГРНТИ	47.13
УДК	621.382.049.77(075.8)^V3

ББК З 844.1-06я73 + З 856-06я73

Аннотация: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.


Доп.точки доступа:
Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С. П. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-АБ (1)