Содержание:
Наноструктуры, микро-, нанотехнологии и материалы
Углеродные нанотрубки
Нанопроволоки
Синтез массивов наностержней и нанопроволок с использованием опорного трафарета
Формирование трехмерных наноструктур ионно-лучевым химическим осаждением из газовой фазы
Микро- и нанообработка
Литография
Материалы для электроники
ГРНТИ |
Рубрики:
Нанотехнологии--Справочники
Нанотехнологии--Справочники
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Бхушан, Б. \ред.\; Сауров, А.Н. \ред. пер.\; Московский государственный институт электронной техники. НПК "Технологический центр"
Экземпляры всего: 1
ИФ-ЧЗ (1)
Свободны: ИФ-ЧЗ (1)