Приложение: с. 302-332
| ГРНТИ | |
| УДК |
Рубрики:
Вакуумная техника
Кл.слова (ненормированные):
ПЕРЕНОС -- АДСОРБЦИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ -- РАСЧЕТ -- КОНСТРУИРОВАНИЕ -- ОБОРУДОВАНИЕ -- ОТКАЧКА -- ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ -- НАНЕСЕНИЕ -- ТОНКИХ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ -- ИСПАРЕНИЕ -- ИСПАРИТЕЛИ -- РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОННАЯ -- БОМБАРДИРОВКА -- НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
Вакуумная техника
Кл.слова (ненормированные):
ПЕРЕНОС -- АДСОРБЦИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ -- РАСЧЕТ -- КОНСТРУИРОВАНИЕ -- ОБОРУДОВАНИЕ -- ОТКАЧКА -- ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЕ ПРИБОРЫ -- НАНЕСЕНИЕ -- ТОНКИХ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ -- ИСПАРЕНИЕ -- ИСПАРИТЕЛИ -- РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОННАЯ -- БОМБАРДИРОВКА -- НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ
Экземпляры всего: 1
ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ИХХТ-АБ (1)