Сводный каталог книг

: учеб. пособие. - М. : Флинта : Наука, 2009. - 163 с. - Библиогр.: с. 157-163. - 1000 экз. - ISBN 978-5-9765-0326-7. - ISBN 978-5-02-034741-0. - ISBN 978-5-9765-0326-7 (Флинта)978-5-02-034741-0 (Наука). - ISBN 978-5-9765-0326-7 . - ISBN 978-5-9765-0326-7 (Флинта). - ISBN 978-5-02-034741-0 (Наука) : 228.00 р., 228.00 р.

ГРНТИ	29.19.22	81.09	81.13	29.19.49	29.31.26	81.13	81.13	81.13
УДК	62-022.53(075.8)^V3	621.3(075.8)

ББК Ж6я7 + Ж6я73 + Ж364я73 + Ж6я73 + Ж364я73 + Ж6я73 + Ж364я73


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Центральная научная библиотека КНЦ СО РАН : 660036, г. Красноярск, Академгородок, 50
Экземпляры всего: 5
ИФ-КФ (2), ИХХТ-АБ (1), ИВМ-Фонд (1), ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ИФ-КФ (2), ИХХТ-АБ (1), ИВМ-Фонд (1), ЦНБ-АБ (1)

/ М. Каминский ; пер. с англ. под ред. Л. А. Арцимовича. - М. : Мир, 1967. - 506 с. : ил. - Библиогр.: с. 451-496. - Предм. указ.: с. 497-501. - Пер. изд. : ATOMIC AND IONIC IMPACT PHENOMENA ON METAL SURFACES / Manfred Kaminsky. - 1965. - 2.42 р.
    Содержание:
Природа поверхности металлов
Определение работы выхода с поверхности металлов
Приготовление поверхностей металлов
Силы связи, действующие при столкновении атомов и молекул с поверхностью металлов
Энергетика поверхностных реакций
Неупругие столкновения атомов и молекул с поверхностями металлов; коэффициент аккомодации
упругие столкновения атомов и молекул с поверхностью металлов
Эмиссия положительных ионов (положительная поверхностная ионизация)
Образование отрицательных ионов и их испускание
Распыление поверхностей металлов под действием ионной бомбардировки
Рассеяние ионов поверхностями металлов
Нейтрализация ионов (потенциальная эмиссия вторичных электронов)
Релаксация метастабильных атомов и ионов
Эмиссия электронов под действием бомбардировки заряженными и нейтральными частицами (кинетическая эмиссия)

ГРНТИ

29.29.31

53.49.07

ББК К206.231 + В373.1


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Арцимович, Лев Андреевич \ред. пер.\; Kaminsky, Manfred
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)

. [Вып. 1]. Физическое распыление одноэлементных твердых тел / Р. Бериш [и др.] ; под ред. Р. Бериша ; пер. с англ. под ред. В. А. Молчанова. - М. : Мир, 1984. - 336 с. : ил. - (Проблемы прикладной физики). - Авт. указ. в огл. - Парал. тит. англ. - Библиогр.: с. 321-328 . - Предм. указ.: с. [332]-335. - Пер. изд. : Sputtering by particle bombardment I : Physical sputtering of single element solids. - 2200 экз. - 3.70 р.
    Содержание:
Теоретические вопросы распыления монокристаллов
Измерения коэффициента распыления
Коэффициенты распыления монокристалличессикх мишеней

ГРНТИ

29.19.21

29.19.11

ББК В371.27


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Бериш, Райнер; Зигмунд, П.; Робинсон, М.; Андерсен, Х.; Бериш, Райнер \ред.\; Молчанов, В. А. \ред. пер.\
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)

. Вып. 2. Распыление сплавов и соединений, распыление под действием электронов и нейтронов, рельеф поверхности / Р. Бериш [и др.] ; под ред. Р. Бериша ; пер. с англ. под ред. В. А. Молчанова. - М. : Мир, 1986. - 484 с. : ил. - (Проблемы прикладной физики). - Авт. указ. в огл. - Парал. тит. англ. - Библиогр. в конце глав, с. 470-472. - Предм. указ. - Пер. изд. : Sputtering by particle bombardment I : Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neuron Sputtering, Surface . - 1815 экз. - 5.10 р.

ГРНТИ

29.19.21

29.19.11

ББК В371.27


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Бериш, Райнер; Зигмунд, П.; Робинсон, М.; Андерсен, Х.; Бериш, Райнер \ред.\; Молчанов, В. А. \ред. пер.\
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)

/ В. Экштайн ; пер. с англ. М. Г. Степановой, под ред. Е. С. Машковой. - М. : Мир, 1995. - 319 с. : ил., табл. ; 319 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце глав. - Пер. изд. : Computer Simulation of lon-Solid Interactions / W Eckstein. - ISBN 5-03-002506-5 : 16.50 р.
    Содержание:
Модель парных столкновений
Классическая динамическая модель
Потенциалы взаимодействия
Неупругие потери энергии
Тепловые колебания и характерные энергии
Программы, основанные на модели парных столкновений
Программы на основе классической динамической модели
Исследование траекторий
Пробеги ионов в твердом теле
Рассеяние ионов твердым телом
Распыление
Радиационные повреждения

ГРНТИ

29.19.21

29.15.35

ББК В371.25с512 + В385.2с512 + В371.27с512


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Eckstein, W
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)

[Текст] : Вып.20. Т.Бураковски.Инженерия поверхности металлов:состояние и перспективы развития. Вып.20. Инженерия поверхности металлов: состояние и перспективы развития / Под ред.К.В.Фролова ; Ин-т машиноведения им. А.А.Благонравова АН СССР. - Москва : МЦНТИ, 1990. - 93 с. : ил + табл. - (Научно-технический прогресс в машиностроении ; вып.20). - Библиогр: с.86-92. -

УДК

Н 34

Аннотация: Рассматриваются научные и технические дисциплины инженерии поверхности металлов и технологий изготовления поверхностных слоев механическим, термомеханическим, химико-термическим, химическим и физическим методами. С точки зрения современности они разделены на модифицированные традиционные меиоды и методы новой генерации. К первой группе методов относятся термическая и химико-термическая обработка, термическое напыление, обработка давлением. Вторая группа методов включает ионную технику, технику ХВД и ФВД (отложение из пара, напыление, распыление), лучевую технику (ионную, электронную, фотонную) и детонационную технику.

Держатели документа:
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44 ИВМ-Фонд
Свободных экз. нет

[Текст] : монография / Б.С. Данилин. - Москва : Энергоатомиздат, 1989. - 327 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 316-324. - ISBN 5-283-03939-0 : 3.60 р.ББК З84

Аннотация: Показана роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем. Анализируются основные факторы, определяющие процесс ионного распыления. Рассматривается осаждение пленок магнетронным, термоионным,ионнокластерным и электронно=циклотронным методами, а также стимулирование плазмой осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении. Показаны пути обеспечения вакуумно-технических параметров в установках для осаждения тонких пленок. Рассмотрены перспективы применения плазменных процессов в производстве интегральных схем. Для научных и инженерно-технических работников, использующих в своей практической работе осаждение пленок с помощью низкотемпературной плазмы. Может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Держатели документа:
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Экземпляры всего: 1
ИВМ-Фонд (1)
Свободны: ИВМ-Фонд (1)

[Текст] : монография. Вып.III. Характеристики распыленных частиц, применения в технике / Пер. с англ.; Под ред. Р.Бериша и К.Виттмака. - Перевод издания: Sputtering by Particle Bombardment III / Ed. by R.Berish and K.Wittmaack . - [Б. м. : б. и.]. - 551 с. : ил. - (Проблемы прикладной физики). - Библиогр.: в конце гл. - ISBN 5-03-003118-9 : 124.60 р.

УДК	533.9%ББК 22.333

Аннотация: Книга известных ученых Германии, США и Швеции содержат сведения об основных механизмах, режимах и закономерностях физического распыления, о распределении распыленных частиц по углам вылета, о десорбции больших биомолекул с поверхностей твердых тел и жидкостей под действием ионной бомбардировки. Анализируются зарядовые состояния и состояния возбуждения распыленных частиц, состав поверхности и объема твердых тел при распылении. Для широкого круга исследователей в области физической электроники, физики плазмы, микроэлектроники, материаловедения и термоядерных исследований.

Полный текст на сайте РФФИ

Держатели документа:
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44

Доп.точки доступа:
Виттмак, К.%
Экземпляры всего: 1
ИВМ-Фонд (1)
Свободны: ИВМ-Фонд (1)

/ Л. Н. Розанов. - Л. : Машиностроение, 1975. - 336 с. : граф., рис., схем, табл. - Библиогр.: с. 332-334. - (в пер.) : 1.19 р.
Приложение: с. 302-332

ГРНТИ	47.29
УДК	621.52

ББК З 77


Экземпляры всего: 1
ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ИХХТ-АБ (1)