Сводный каталог книг

w10=
Найдено документов в текущей БД: 1
   З84
   Л59
В3 / Л59-ЦНБ-АБ

    Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
: Сб. науч. тр., т. 62 / Рос. акад. наук, Ин-т общ. физики ; отв. ред. Ю. А. Новиков. - М. : Наука, 2006. - 144 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. . - ISBN 5-02-034130-4 : 80.00 р., 65.00 р.
ГРНТИ
УДК
ББК З844.1 + В333я43 + З844.1я43


Труды ИОФАН,
том 62

Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Новиков, Ю. А. \ред.\; Российская академия наукИнститут общей физики им. А.М. Прохорова РАН
Экземпляры всего: 2
ИФ-КФ (1), ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1), ЦНБ-АБ (1)