ГРНТИ | |
УДК |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы--Производство
Нанотехнология--В электронике
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные -- Ионно-плазменное травление -- Вакуумно-плазменное травление -- Ультрабольшие интегральные схемы -- Микроэлектромеханические системы -- Наносистемы -- Микромеханика
Микроэлектронные приборы--Производство
Нанотехнология--В электронике
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные -- Ионно-плазменное травление -- Вакуумно-плазменное травление -- Ультрабольшие интегральные схемы -- Микроэлектромеханические системы -- Наносистемы -- Микромеханика
Аннотация: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Доп.точки доступа:
Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С. П. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-АБ (1)