Сводный каталог книг

/ Ю. И. Головин. - М. : Машиностроение, 2009. - 312 с. - Библиогр. в конце глав. - 2000 экз. - ISBN 978-5-94275-476-1 : 727.65 р., 727.65 р.

ГРНТИ	29.19.22	29.19.13	55.03.11	90.03.03	90.27.28	81.09
УДК	62-022.53^V3

ББК Ж306в642 + В372в642 + К413в642 + Ж306.2-1


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Экземпляры всего: 2
ИФ-КФ (1), ИВМ-Фонд (1)
Свободны: ИФ-КФ (1), ИВМ-Фонд (1)

: пер. с англ. / Р. Лич ; пер. А. В. Заблоцкий. - Долгопрудный : Интеллект, 2012. - 399 с. - Библиогр. в конце глав. - Пер. изд. : Fundamental principles of engineering / Richard K. Leach. - Amsterdam; Boston; Heidelberg, 2010. - ISBN 978-5-91559-119-5 : 1210.00 р.
    Содержание:
Введение в метрологию для микро- и нанотехнологий
Основы метрологии
Принципы разработки прецизионных средств измерений
Прослеживаемость длины при помощи интерферометрии
Измерения перемещений
Средства измерений параметров рельефа поверхности
Сканирующая зондовая, электронная и ионная микроскопия
Характеризация рельефа поверхности
Координатная метрология
Измерения сил и масс

ГРНТИ

90.03.03

ББК Ж10


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН

Доп.точки доступа:
Заблоцкий, А. В. \пер.\; Leach, Richard K.
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)