ГРНТИ |
Рубрики:
Литография субмикронная--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
Электронолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
Ионолитография--Радиоэлектронная аппаратура РЭА)--Конструирование
Фотолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
Литография субмикронная--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
Электронолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
Ионолитография--Радиоэлектронная аппаратура РЭА)--Конструирование
Фотолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Конструирование
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Экземпляры всего: 2
ИФ-КФ (2)
Свободны: ИФ-КФ (2)