Перевод заглавия: Crystal growth. Theory and Technigues: V.2/ Edit by C.H.L. Coodman
Перевод заглавия: Crystal growth. Theory and Technigues: V.2/ Edit by C.H.L. Coodman
ГРНТИ |
Аннотация: Книга посвящена актуальным вопросам технологии кристаллов. рассматриваются такие проблемы, как возникновение напряжений в эпитаксиальных пленках, выращенных из паровой фазы, эпитаксиальное осаждение пленок кремния и влияние на процесс осаждения УФ-излучения. Особое внимание уделяется методу бестигельного получения кристаллов - методу Вернейля.
Держатели документа:
Центральная научная библиотека КНЦ СО РАН : 660036, г. Красноярск, Академгородок, 50
Доп.точки доступа:
Гудман, К. \ред.\; Гиваргизов, Е.И. \ред. пер.\
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-ХР (1)
Свободны: ЦНБ-ХР (1)