: учебное пособие. Ч.2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования / М. А. Королёв, Т. Ю. Крупкина [и др.] ; ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2009. - 422 с. - Библиогр.: с. 410-422. - 1000 экз. -
ISBN 978-5-94774-583-2 (в пер.). -
ISBN 978-5-94774-583-6 : 328.50 р.
ББК З844.15я73
Держатели документа: Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа: Королёв, Михаил Александрович; Королев, Михаил Александрович; Крупкина, Татьяна Юрьевна; Путря, Михаил Георгиевич; Шевяков, Василий Иванович; Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)
