ГРНТИ | ||
УДК |
Рубрики:
Микросхемы интегральные--Нанотехнологии--Учебники и учебные пособия
Микроэлектроника--Физические основы--Технология--Учебники и учебные пособия
Микросхемы интегральные--Нанотехнологии--Учебники и учебные пособия
Микроэлектроника--Физические основы--Технология--Учебники и учебные пособия
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Центральная научная библиотека КНЦ СО РАН
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю.Н. \ред.\; Райнова, Юлия Петровна
Экземпляры всего: 2
ИФ-КФ (1), ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1), ЦНБ-АБ (1)