Сводный каталог книг

[Текст] : монография / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов; Под редакцией С. П. Тимошенкова. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - (Нанотехнологии : [Серия основана в 2006 г.]). - Библиогр.: с. 275-280. - 770 экз. - ISBN 978-5-9963-0032-7 (в пер.) : 400.00 р.

ГРНТИ	47.13
УДК	621.382.049.77(075.8)^V3

ББК З 844.1-06я73 + З 856-06я73

Аннотация: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.


Доп.точки доступа:
Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С. П. \ред.\
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-АБ (1)

[Текст] : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2013. - 215 с. : ил. ; 23 см. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце докл. - 300 экз. - ISBN 978-5-9221-1406-6 (в пер.) : 265.65 р.

ГРНТИ

31.15

29.27

47.13

31.17

ББК Г542.52 + В333.4 + З 844.1-06

Аннотация: В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.


Доп.точки доступа:
Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-АБ (1)