Сводный каталог книг

: научное издание / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 263 с. : ил. - Библиогр.: с. 252-260. - 1.40 р.

ГРНТИ	55.13.15
УДК	533.915

ББК К675

Аннотация: Рассмотрено применение низкотемпературной плазмы для реализации ионных, ионно-химических и плазмохимических процессов травления и очистки материалов. Приведены методики выбора состава рабочего газа для травления и очистки конкретных материалов, а также основные конструкции систем для реализации этих процессов.


Доп.точки доступа:
Киреев, В.Ю.
Экземпляры всего: 1
ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ИХХТ-АБ (1)