ГРНТИ |
Рубрики:
Ионолитография--Радиоэлектронная аппаратура РЭА)
Электронолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)
Фотолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)
Ионолитография--Радиоэлектронная аппаратура РЭА)
Электронолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)
Фотолитография--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Тимеров, Р.Х. \ред.пер.\; Валиев, Камиль Ахметович \авт. предисл.\; Moreau, W. M.
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)