УДК |
Аннотация: Описаны основные физические процессы, определяющие свойства и характеристики СВЧ-разрядов при давлениях от 100 Па до атмосферного. Детально проанализированы механизмы распространения фронта разряда в атомарных и молекулярных газах. Описаны специфические формы разрядов во внешнем магнитном поле и при совместном воздействии СВЧ- и постоянного электрического полей. Приведены методы расчета напряженности электрических СВЧ-полей и их энергетической эффективности в плазме для различных схем СВЧ- плазмотронов. На примере производства мелкодисперсных порошков нитридов титана, циркония и гафния продемонстрированы возможности использования СВЧ-разрядов в современной технологии. Для научных сотрудников и инженеров, занимающихся физикой плазмы и плазменной технологией. Полезна студентам старших курсов и аспирантам соответствующих специальностей.
Держатели документа:
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Доп.точки доступа:
Батенин, В.М.
Экземпляры всего: 1
ИВМ-Фонд (1)
Свободны: ИВМ-Фонд (1)