[Текст] : научное издание / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2012. - 215 с. : ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце глав. - 300 экз. -
ISBN 978-5-9221-1406-6 (в пер.) : 277.20 р.
ББК Г542.527,07 + В333.24,07 + З844.1-060.14-1,07
Аннотация: В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Доп.точки доступа: Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-АБ (1)