Сводный каталог книг

w10=
Найдено документов в текущей БД: 4
   Г5
   М25
Г592 / М25-ИХХТ-АБ

    Основы звукохимии
: Хим. реакции в акустических полях: Учеб. пособие для хим. и хим.-технол. спец. вузов / М. А. Маргулис. - Москва : Высшая школа, 1984. - 272 с. : ил. - Библиогр.: с.262-267 . -Предм. указ.: с. 268-270. - 1.10 р., 1.10 р.
ГРНТИ
УДК
ББК Г592 + Г592я73


Держатели документа:
Центральная научная библиотека КНЦ СО РАН : 660036, г. Красноярск, Академгородок, 50
Экземпляры всего: 2
ЦНБ-ХР (1), ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-ХР (1), ИХХТ-АБ (1)
   Г542.5
   Е 92

    Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
[Текст] : научное издание / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2012. - 215 с. : ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце глав. - 300 экз. - ISBN 978-5-9221-1406-6 (в пер.) : 277.20 р.
ГРНТИ
УДК
ББК Г542.527,07 + В333.24,07 + З844.1-060.14-1,07
Рубрики:
Химическая физика-- Химическая кинетика--Реакции, протекающие в специальных условиях--Плазмохимические реакции
   Плазма(физ.) низкотемпературная--Кинетика

   Газовые разряды в хлоре

   Микроэлектроника --Технология изготовления ---Лазерная обработка деталей. Плазменное травление--Теория, исследования

   Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы--Свойства плазмы--Равновесные и неравновесные явления

   Травление--Применение в производстве микросхем

Кл.слова (ненормированные):
плазменное травление  -- плазма хлора -- плазмохимические технологии -- неравновесная плазмохимия

Аннотация: В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.


Доп.точки доступа:
Светцов, Владимир Иванович
Экземпляры всего: 1
ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ЦНБ-АБ (1)
   Г542
   Э 45

    Элементарные процессы химии высоких энергий
: труды симпозиума по элементарным процессам химии высоких энергий (Москва, 18-22 марта 1963 г.) / Акад. наук СССР, Ин-т хим. физики ; [отв. ред. В.Л. Тальрозе]. - М. : Наука, 1965. - 318 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - 1.61 р.
ГРНТИ
УДК
ББК Г542.13



Доп.точки доступа:
Тальрозе, В.Л. \отв. ред.\; Акад. наук СССР, Ин-т хим. физики
Экземпляры всего: 1
ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ИХХТ-АБ (1)
   В33
   П 37

Плазмохимия-91   Т. 1
: сб. ст. / АН СССР. Ин-т нефтехим.синтеза им. А.В.Топчиева. - М. : [б. и.]. / отв. ред. Л. С. Полак. - М. : [б. и.], 1991. - 208 с. : ил. - ISBN 5-201-10343-X : 3.00 р.
Библиогр.в конце ст.
ГРНТИ
УДК
ББК В333
Рубрики:
Плазмохимия



Доп.точки доступа:
Полак, Л. С. \отв. ред.\
Экземпляры всего: 1
ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ИХХТ-АБ (1)