[Текст] : Монография / Под ред. Дж. Поута, К.ТУ, Дж. Мейера ; Пер. с англ., под ред. В.Ф. Киселева и В.В. Поспелова. - Москва : Мир, 1982. - 576 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. -
Пер. изд. : Thin Films - Interdiffusion and Reactions/ J.M. Poate, K.N. Tu, J.M. Mayer. - 5.80 р.
ББК Г582,0 + В375,6-6 + В377,15-6 + З844.1.0
Аннотация: Коллективная монография (США и Нидерланды), посвященная явлениям переноса вещества в тонких пленках и процессам физико-химического взаимодействия металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок. Рассмотрен широкий круг вопросов: проблемы твердотельной микроэлектроники, металлофизика и металлохимия границ раздела, методы получения и исследования тонких пленок, явления на границах зерен, реакции и взаимопроникновения в слоистых структурах, электрические характеристики границ раздела, имплантационная металлургия. Для научных работников (физиков, химиков) и инженеров, занимающихся физикой полупроводников, микроэлектроникой, созданием полупроводниковых приборов, катализом, коррозией.
Держатели документа: ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Доп.точки доступа: Поут, Дж.; Ту, К.; Мейер, Дж.; Розенберг, Р.; Салливан, М.; Говард, Дж.; Филлипс, Дж.; Мак-Калдин, Дж.; Мак-Гилл, Т.; Лау, С.; Гупта, Д.; Кэмпбелл, Д.; Хо, П.; Д,Эрл, Ф.; Бэглин, Дж.
Экземпляры всего: 1
ИВМ-Фонд (1)
Свободны: ИВМ-Фонд (1)