Сводный каталог книг

[Текст] : монография / [Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.]; Под ред. И.Хаякавы; Пер. с яп. В.Ю. Акифьева и др.; Под ред. В.Г.Ржанова, В.И.Ушакова. - Москва : Мир, 1990. - 454 с. : ил. - Библиогр: с.439-450. Предм. указ.: с.451-452.%ISBN 5-03-000363-0. - ISBN 5-03-000363-0 : 4.20 р., 4.20 р.

ГРНТИ	75.31.25
УДК	621.3.049.77%ББК 30.61	628.8

ББК З844.1-06-43

Аннотация: Книга японских специалистов посвящена исключительно актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Приведена классификация чистых помещений, рассмотрены конструкции фильтров для очистки воздуха от взвешенных микрочастиц. Обсуждаются воздействия разнообразных производственных факторов (вибраций, электромагнитных помех и т.д.) на качество и выход годных полупроводниковых изделий. Рассматриваются принципы применения химических реагентов и газов, а также способы получения особо чистой воды. Для специалистов по технологии производства изделий микроэлектроники и волоконной оптики, материалов для квантовой электроники и пленочной техники, а также технологов фармацевтической промышленности.

Держатели документа:
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Экземпляры всего: 2
ИВМ-Фонд (1), ИБФ-КФ (1)
Свободны: ИВМ-Фонд (1), ИБФ-КФ (1)