УДК |
Аннотация: Рассмотрены вопросы физики электроразрядных эксимерных лазеров на галогенидах инертных газов. Особое внимание уделяется процессам, определяющим параметры объемного разряда и его устойчивость. Анализируются факторы, обуславливающие эффективность лазеров этого класса. Подробно рассматриваются электроразрядные системы мощных эксимерных лазеров. Обсуждаются особенности режимов работы лазера с большой частотой следования импульсов. Даются примеры конкретных применений рассматриваемых лазеров в микроэлектронике, фотохимии и некоторых других областях. Для научных сотрудников, инженеров, специализирующихся в области физики газового разряда, электроразрядных лазеров и их применениях.
Держатели документа:
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Доп.точки доступа:
Борисов, В.М.; Степанов, Ю.Ю.
Экземпляры всего: 1
ИВМ-Фонд (1)
Свободны: ИВМ-Фонд (1)