Сводный каталог книг

w10=
Найдено документов в текущей БД: 1
   З84
   К43

    Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
/ В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. - М. : Техносфера, 2006. - 190 с. - (Мир электроники). - Библиогр.: с. 188-190. - ISBN 5-94836-039-3 : 160.00 р.
ГРНТИ
ББК З844.1 + В372.6


Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Столяров, Александр Александрович
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)