/ В. А. Смирнов, В. С. Дмитриев, А. Н. Редькин; отв. ред. Ч. В.
Копецкий ; Акад. наук СССР, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - М. : Наука, 1986. - 149 с. : граф., табл. - Библиогр.: с. 126-147. - 750 экз. - 3.50 р., 3.50 р.
ББК Г123.3
Держатели документа: Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа: Дмитриев, Владимир Сергеевич; Редькин, Аркадий Николаевич;
Копецкий,
Чеслав Васильевич (1932-1988) \ред.\; Академия наук СССР; Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Экземпляры всего: 2
ИФ-КФ (1), ИХХТ-АБ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1), ИХХТ-АБ (1)