Содержание:
Введение в метрологию для микро- и нанотехнологий
Основы метрологии
Принципы разработки прецизионных средств измерений
Прослеживаемость длины при помощи интерферометрии
Измерения перемещений
Средства измерений параметров рельефа поверхности
Сканирующая зондовая, электронная и ионная микроскопия
Характеризация рельефа поверхности
Координатная метрология
Измерения сил и масс
ГРНТИ |
Рубрики:
Измерения--Наношкала
Измерения--Наношкала
Держатели документа:
Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа:
Заблоцкий, А. В. \пер.\; Leach, Richard K.
Экземпляры всего: 1
ИФ-КФ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1)