/ В. М. Геллер, В. А. Хрусталев. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2011. - 297 с. - (Монографии НГТУ). - Библиогр.: с. 284-293. - 3000 экз. -
ISBN 978-5-7782-1559-7 : 472.00 р., 472.00 р.
ББК В333.24 + Ж624 + З 292.6 + З 85-06
Аннотация: Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго- и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов. позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона.
Держатели документа: Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН
Доп.точки доступа: Хрусталев, Владимир Александрович
Экземпляры всего: 2
ИФ-КФ (1), ЦНБ-АБ (1)
Свободны: ИФ-КФ (1), ЦНБ-АБ (1)