ГРНТИ | ||
УДК |
Кл.слова (ненормированные):
производство электронных изделий%прецизионные электронные компоненты%фильтры
Аннотация: Книга японских специалистов посвящена исключительно актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Приведена классификация чистых помещений, рассмотрены конструкции фильтров для очистки воздуха от взвешенных микрочастиц. Обсуждаются воздействия разнообразных производственных факторов (вибраций, электромагнитных помех и т.д.) на качество и выход годных полупроводниковых изделий. Рассматриваются принципы применения химических реагентов и газов, а также способы получения особо чистой воды. Для специалистов по технологии производства изделий микроэлектроники и волоконной оптики, материалов для квантовой электроники и пленочной техники, а также технологов фармацевтической промышленности.
Держатели документа:
ИВМ СО РАН : 660036, Красноярск, Академгородок, 50, стр.44
Экземпляры всего: 2
ИВМ-Фонд (1), ИБФ-КФ (1)
Свободны: ИВМ-Фонд (1), ИБФ-КФ (1)