Библиотека института биофизики СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и продолжающихся изданий библиотеки Института биофизики СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий библиотеки Института биофизики СО РАН

Иностранные журналы библиотеки Института биофизики СО РАН

Отечественные журналы библиотеки Института биофизики СО РАН

Каталог диссертаций ИБФ СО РАН

Труды сотрудников ИБФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=электронная литография<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З-84
   Б 78
З-8 / Б 78-ИБФ-КФ

    Боков, Юрий Сергеевич.
    Фото-, электронно- и рентгенорезисторы [Текст] / Ю. С. Боков. - Москва : Радио и связь, 1982. - 136 с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр.: с. 129-135. - 0.50 р.

ГРНТИ	47.09.53
УДК	621.315

ББК З-844.1

Кл.слова (ненормированные):
защитные материалы -- ионизирующие излучения -- полимеры -- фоторезисты -- электронорезисты -- электронная литография -- рентгенорезисты -- рентгенолитография

Держатели документа:
Библиотека Института биофизики СО РАН : 660036, Академгородок, 50/12

Доп.точки доступа:
Неустроев, С. А. \рец.\
Экземпляры всего: 1
ИБФ-КФ (1)
Свободны: ИБФ-КФ (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Библиотека института физики

Центральная научная библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)