Библиотека института биофизики СО РАН

Главная

Базы данных

Каталог книг и продолжающихся изданий библиотеки Института биофизики СО РАН - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий библиотеки Института биофизики СО РАН

Иностранные журналы библиотеки Института биофизики СО РАН

Отечественные журналы библиотеки Института биофизики СО РАН

Каталог диссертаций ИБФ СО РАН

Труды сотрудников ИБФ СО РАН

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>S=Микроэлектронные схемы интегральные -- производство<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З844
   Ч-68


    Чистые помещения [Текст] : научное издание : пер. с японск. / И. Хаякава, Т. Окадзаки, С. Фудзии ; ред. И. Хаякава ; пер.: В. Ю. Акифьева, Л. Н. Дмитрук, М. Е. Панюков ; ред. пер.: В. Г. Ржанов, В. И. Ушаков. - Москва : Мир, 1990. - 456 с. - Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452. - 4900 экз. - ISBN 5-03-000363-0 : 4.20 р.
Авт. указаны перед вып. дан.

ГРНТИ	75.31.25
УДК	628.8

ББК З844.1-06-43
Рубрики:
Чистые производственные помещения
Микроэлектронные схемы интегральные--производство

Держатели документа:
Библиотека института биофизики СО РАН : 660036, Академгородок, 50/12

Доп.точки доступа:
Хаякава, Ития; Окадзаки, Тосихару; Фудзии, Сюдзи; Хаякава, И. \ред.\; Акифьева, В. Ю. \пер.\; Дмитрук, Л. Н. \пер.\; Панюков, М. Е. \пер.\; Ржанов, В. Г. \ред. пер.\; Ушаков, В. И. \ред. пер.\
Экземпляры всего: 1
ИБФ-КФ (1)
Свободны: ИБФ-КФ (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Другие библиотеки

Библиотека института физики

Центральная научная библиотека КНЦ СО РАН

Библиотека института химии и химический технологии

Библиотека института вычислительного моделирования

Библиотека института леса

Библиотека СФУ

Краевая научная библиотека

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)