Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : З 843/В 74
Автор(ы) : Болотов, Валерий Викторович, Васильев, Альберт Васильевич, Двуреченский, Анатолий Васильевич, Качурин, Григорий Аркадьевич, Придачин, Николай Борисович, Смирнов, Леонид Степанович, Стась, Владимир Федосеевич
Заглавие : Вопросы радиационной технологии полупроводников : монография
Выходные данные : Новосибирск: Наука, Сибирское отделение, 1980
Колич.характеристики :291, [3] с.: граф., табл.; 22 см.
Коллективы : Академия наук СССР. Сибирское отделение, Институт физики полупроводников СО АН СССР :
ГРНТИ : 47.09.29 + 29.19.31
ББК : З 843.3 + В379.227
Предметные рубрики: Полупроводники многослойные-- Отжиг лазерный
Полупроводники многослойные-- Радиационные эффекты
Содержание : Характеристики радиационных дефектов ; Вопросы управления составом дефектных центров ; Радиационно-управляемая диффузия (РУД) ; Возможности технологического использования радиационных дефектов ; Состояние и перспективы ионного легирования полупроводников ; Ионное легирование антимонида индия ; Эффекты в полупроводниках при внедрении больших доз ионов и повышенных плотностях тока ; Лазерный отжиг имплантированных слоев полупроводников ; Получение тонких пленок с помощью ионных и молекулярных пучков ; Ядерное легирование полупроводников
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)