Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска
Авторефераты диссертаций и диссертации
Отечественные журналы
Препринты
Электронный каталог книг и продолжающихся изданий
База ученого секретаря
Пресса об ИЯФ
Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=Микроэлектронные схемы интегральные - Травление вакуумно-плазменное<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : В333/Я 89
Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшшафович
Заглавие : Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Выходные данные : Москва: ФИЗМАТЛИТ, 2009
Колич.характеристики :216 с.: ил.; 22 см.
Примечания : Библиогр.: с. 205-216
ISBN, Цена 978-5-9221-1150-8:
ГРНТИ : 29.27.17 + 31.15.30
ББК : В333.25 + Г578
Предметные рубрики: Микроэлектронные приборы-- Производство
Экземпляры : всего : кх(4)
Свободны : кх(4)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)