Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска
Авторефераты диссертаций и диссертации
Отечественные журналы
Препринты
Электронный каталог книг и продолжающихся изданий
База ученого секретаря
Пресса об ИЯФ
Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>S=Микроэлектронная технология<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : В333/Р 18
Автор(ы) : Райзер, Юрий Петрович, Шнейдер, Михаил Наумович, Яценко, Николай Афанасьевич
Заглавие : Высокочастотный емкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения : [учебное пособие для вузов по направлению "Техническая физика"]
Выходные данные : Москва: Наука; Москва: ФИЗМАТЛИТ, 1995
Колич.характеристики :320 с.: ил.
Примечания : Библиогр.: с. 299-310
ISBN, Цена 5-7417-0006-3:
ГРНТИ : 29.27.43
ББК : В333.31я73
Предметные рубрики: Плазменная металлизация
Активные среды-- Газовых лазеров
Микроэлектронная технология
Высокочастотный разряд
Экземпляры : всего : Ч/з(1), кх(1)
Свободны : Ч/з(1), кх(1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)