Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>S=Микроэлектроника -- Физические основы -- Технология -- Учебники и учебные пособия<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З 844.1
   В 24

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - 2011. - 252 с. : ил. ; 21 см. - 790 экз.. - ISBN 978-5-9963-0336-6

47.13

47.33.31

ББК З 844.15-06я73
Рубрики: Микросхемы интегральные--Нанотехнологии--Учебники и учебные пособия
Микроэлектроника--Физические основы--Технология--Учебники и учебные пособия

Доп.точки доступа:
Андреев, В. М.; Громов, Дмитрий Геннадьевич
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)