Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=СУБМИКРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З 844.1
   Б 88

    Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии : [монография] / И. Броудай, Д. Мерей ; перевод с английского В. А. Володина, В. С. Першенкова и Б. И. Подлепецкого под редакцией А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 494 с. : ил. ; 22 см. - Пер. изд. : The physics of microfabrication / Ivor Brodie, Julius J. Muray. - New York; London, 1982. - 11 000 экз.. -

47.03.05

ББК З 844.1-06
Рубрики: Микротехнология в электрорадиоприборостроении
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- СУБМИКРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- МИКРОЗОНДЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- МЕТОДЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ -- МИКРОТЕХНОЛОГИЯ

Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред. пер.\; Brodie, Ivor; Muray, Julius J.
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)