Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=гетерогенное фазообразование<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З 844.1
   В 24

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : ил. - ISBN 978-5-9963-0335-9

47.13

47.33.31

ББК З 844.15-06я73
Рубрики: Микроэлектроника--учебное издание для высшей школы
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- гетерогенное фазообразование -- фотохимическое воздействие излучений

Доп.точки доступа:
Райнова, Ю. П.
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)