Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Найдено в других БД:

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая) (2)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микротехнологии<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   Ж10
   Л 66

    Лич, Ричард.
    Инженерные основы измерений нанометровой точности : [учебное пособие] / Р. Лич ; перевод с английского А. В. Заболоцкого. - Долгопрудный : Интеллект, 2012. - 399 с. : ил. ; 22 см. - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.)

59.03.05

90.03.03

ББК Ж104я73
Рубрики: Нанометрология
Кл.слова (ненормированные):
нанометровая точность -- микротехнологии -- наномасштаб -- нанотехнологии -- микросистемная техника
Аннотация: Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемости измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс

Доп.точки доступа:
Заболоцкий, А. В. \пер.\
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

   З 844.1
   Б 88

    Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии : [монография] / И. Броудай, Д. Мерей ; перевод с английского В. А. Володина, В. С. Першенкова и Б. И. Подлепецкого под редакцией А. В. Шальнова. - Москва : Мир, 1985. - 494 с. : ил. ; 22 см. - Пер. изд. : The physics of microfabrication / Ivor Brodie, Julius J. Muray. - New York; London, 1982. - 11 000 экз.. -

47.03.05

ББК З 844.1-06
Рубрики: Микротехнология в электрорадиоприборостроении
Кл.слова (ненормированные):
МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- СУБМИКРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- МИКРОЗОНДЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- МЕТОДЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ -- МИКРОТЕХНОЛОГИЯ

Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред. пер.\; Brodie, Ivor; Muray, Julius J.
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)