Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>S=Микроэлектронные приборы -- Производство -- Оборудование<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З 844.1
   Д 95

    Дюваль, Пьер.
    Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности : [монография] / П. Дюваль ; перевод с английского Н. В. Васильченко [и др.] под редакцией С. А. Неустроева. - Москва : Мир, 1992. - 263 с. : ил., табл. ; 23 см. - Пер. изд. : High Vacuum Production in the Microelectronics Industry / Pierre Duval. - Amsterdam [et al.], 1988. - 800 экз.. - ISBN 5-03-002002-0

47.13.11

ББК З 844.1-06
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство--Оборудование

Доп.точки доступа:
Васильченко, Н. В. \пер.\; Лев, И. Е. \пер.\; Никитин, М. С. \пер.\; Растегин, Ю. И. \пер.\; Неустроев, С. А. \ред. пер.\; Duval, Pierre
Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)