Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>S=Нанометрология<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   Ж10
   Л 66

    Лич, Ричард.
    Инженерные основы измерений нанометровой точности : [учебное пособие] / Р. Лич ; перевод с английского А. В. Заболоцкого. - Долгопрудный : Интеллект, 2012. - 399 с. : ил. ; 22 см. - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.)

59.03.05

90.03.03

ББК Ж104я73
Рубрики: Нанометрология
Кл.слова (ненормированные):
нанометровая точность -- микротехнологии -- наномасштаб -- нанотехнологии -- микросистемная техника
Аннотация: Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нанометровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемости измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс

Доп.точки доступа:
Заболоцкий, А. В. \пер.\
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)