Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>S=Полупроводники многослойные -- Отжиг лазерный<.>)

Общее количество найденных документов : 1

   З 843
   В 74


    Вопросы радиационной технологии полупроводников : монография / В. В. Болотов, А. В. Васильев, А. В. Двуреченский [и др.] ; под редакцией Л. С. Смирнова ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1980. - 291, [3] с. : граф., табл. ; 22 см. - 1500 экз.
    Содержание:
Характеристики радиационных дефектов
Вопросы управления составом дефектных центров
Радиационно-управляемая диффузия (РУД)
Возможности технологического использования радиационных дефектов
Состояние и перспективы ионного легирования полупроводников
Ионное легирование антимонида индия
Эффекты в полупроводниках при внедрении больших доз ионов и повышенных плотностях тока
Лазерный отжиг имплантированных слоев полупроводников
Получение тонких пленок с помощью ионных и молекулярных пучков
Ядерное легирование полупроводников

47.09.29

29.19.31

ББК З 843.3 + В379.227
Рубрики: Полупроводники многослойные--Отжиг лазерный
Полупроводники многослойные--Радиационные эффекты
Кл.слова (ненормированные):
ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- РАДИОЦИОННО-УПРАВЛЯЕМАЯ ДИФФУЗИЯ -- РАДИОЦИОННЫЕ ДЕФФЕКТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ -- ЯДЕРНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ

Доп.точки доступа:
Болотов, Валерий Викторович; Васильев, Альберт Васильевич; Двуреченский, Анатолий Васильевич; Качурин, Григорий Аркадьевич; Придачин, Николай Борисович; Смирнов, Леонид Степанович; Стась, Владимир Федосеевич; Смирнов, Леонид Степанович \ред.\; Академия наук СССР. Сибирское отделение; Институт физики полупроводников СО АН СССР
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)