Главная Упрощенный режим Описание
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска
Авторефераты диссертаций и диссертации
Отечественные журналы
Препринты
Электронный каталог книг и продолжающихся изданий
База ученого секретаря
Пресса об ИЯФ
Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Яфаров, Равиль Кяшшафович$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   В333
   Я 89

    Яфаров, Равиль Кяшшафович.
    Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 216 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 205-216. - 300 экз.. - ISBN 978-5-9221-1150-8
29.27.17
31.15.30
ББК В333.25 + Г578
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектронные схемы интегральные - Травление вакуумно-плазменное

Экземпляры всего: 4
кх (4)
Свободны: кх (4)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)