Институт ядерной физики СО РАН

Главная

Упрощенный режим

Описание

Базы данных

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий- результаты поиска

Вид поиска

Авторефераты диссертаций и диссертации

Отечественные журналы

Препринты

Электронный каталог книг и продолжающихся изданий

База ученого секретаря

Пресса об ИЯФ

Труды сотрудников ИЯФ (пополняемая)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>R=47.13.17$<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

   З 844.1
   В 15

    Валиев, К. А.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. - Москва : Радио и связь, 1984. - 350 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 338-347. - 3100 экз.. -

47.13.17

ББК З 844.1-06

Доп.точки доступа:
Раков, А. В.
Экземпляры всего: 1
кх (1)
Свободны: кх (1)
Найти похожие

   З 844.1
   В 15

    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физика субмикронной литографии / К. А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 527, [1] с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2

47.13.17

ББК З 844.1-06
Рубрики: Литография субмикронная

Экземпляры всего: 2
кх (2)
Свободны: кх (2)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)